四探针测试仪采用四探针双电测量方法,适用于生产企业、高等院校、科研部门,是检验和分析导体材料和半导体材料在高温、真空及气氛条件下测量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示,无需人工计算,并带有温度补偿功能。
四探针测试仪的测量原理
测量电阻率的方法很多,如三探针法、电容-电压法、扩展电阻法等,四探针法则是一种广泛采用的标准准法,仪器采用经典直排四探针原理,同时采用了双电测组合四探针法。
经典的直排四探针法测试电阻率,要求使用等间距的探针,如果针间距离不等或探针有游移,就会造成实验差。当被测片较小或在大片边缘附近测量时,要求计入电场畸变的影响进行边界修正。
采用双电测组合四探针的出现,为提高薄膜电阻和体电阻率测量准确度创造了有利条件。
四探针测试仪采用双电测组合四探针法的优势
采用双电测组合四探针法进行测试,测试结果与探针间距无关,能够消除间距不等及针尖机械游移变化的影响,因此四探针测试台允许使用不等距探针头。
采用双电测组合四探针法具有自动修正边界效应的功能,对小尺寸被侧片或探针在较大样品边缘附近时,不需要对样品做几何测量,也不需要寻找修正因子。
采用双电测组合四探针法,不移动四探针针头,同时使用三种模式测量,既可计算得到测试部位的电阻均匀性。
那么四探针测试仪采用双电测组合四探针法有哪些优势呢?
1、采用双电测组合四探针法进行测试,测试结果与探针间距无关,能够消除间距不等及针尖机械游移变化的影响,因此四探针测试台允许使用不等距探针头。
2、采用双电测组合四探针法具有自动修正边界效应的功能,对小尺寸被测片或探针在较大样品边缘附近时,不需要对样品做几何测量,也不必寻找修正因子。
3、采用双电测组合四探针法,不移动四探针针头,同时使用三种模式测量,即可计算得到测试部位的电阻均匀性。