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四探针测试仪为提高薄膜电阻和体电阻率测量准确度创造了有利条件
时间:2021-05-07 点击次数:72
  四探针测试仪采用四探针双电测量方法,适用于生产企业、高等院校、科研部门,是检验和分析导体材料和半导体材料在高温、真空及气氛条件下测量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示,无需人工计算,并带有温度补偿功能。
  四探针测试仪的测量原理
  测量电阻率的方法很多,如三探针法、电容-电压法、扩展电阻法等,四探针法则是一种广泛采用的标准准法,仪器采用经典直排四探针原理,同时采用了双电测组合四探针法。
  经典的直排四探针法测试电阻率,要求使用等间距的探针,如果针间距离不等或探针有游移,就会造成实验差。当被测片较小或在大片边缘附近测量时,要求计入电场畸变的影响进行边界修正。
  采用双电测组合四探针的出现,为提高薄膜电阻和体电阻率测量准确度创造了有利条件。
  四探针测试仪采用双电测组合四探针法的优势
  采用双电测组合四探针法进行测试,测试结果与探针间距无关,能够消除间距不等及针尖机械游移变化的影响,因此四探针测试台允许使用不等距探针头。
  采用双电测组合四探针法具有自动修正边界效应的功能,对小尺寸被侧片或探针在较大样品边缘附近时,不需要对样品做几何测量,也不需要寻找修正因子。
  采用双电测组合四探针法,不移动四探针针头,同时使用三种模式测量,既可计算得到测试部位的电阻均匀性。
  那么四探针测试仪采用双电测组合四探针法有哪些优势呢?
  1、采用双电测组合四探针法进行测试,测试结果与探针间距无关,能够消除间距不等及针尖机械游移变化的影响,因此四探针测试台允许使用不等距探针头。
  2、采用双电测组合四探针法具有自动修正边界效应的功能,对小尺寸被测片或探针在较大样品边缘附近时,不需要对样品做几何测量,也不必寻找修正因子。
  3、采用双电测组合四探针法,不移动四探针针头,同时使用三种模式测量,即可计算得到测试部位的电阻均匀性。

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