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四探针测试仪和半导体电阻率测试仪测量方法?
更新时间:2021-05-06 点击次数:821
  四探针测试仪和半导体电阻率测试仪测量方法?
  四探针测试仪测量方法?
  有多种类型的四探针电阻率测试仪,例如高温和室温,并且不同的四探针电阻率测试仪为每种材料测量不同的参数。例如,高温四探针电阻率测试仪可以测量硅和锗单晶的电阻率,硅外延层,扩散层和离子注入层的平方电阻,以及导电玻璃和其他导电材料的平方电阻,主要用于薄膜和片材的导电性能。四探针电阻率测试仪是关键的测量参数,它是半导体材料的电阻,电阻率和抗粘连性。
  半导体电阻率测量方法?
  测量半导体电阻率方法的测量方法主要根据掺杂水平的高低,半导体材料的电阻率可能很高。有多种因素会使测量这些材料的电阻率的任务复杂化,包括与材料实现良好接触的问题。特殊的探头设计用于测量半导体晶片和半导体棒的电阻率。这些探头通常由诸如钨的硬质金属制成,并接地到探头。在这种情况下,接触电阻很高,必须使用四点共线探针或四线绝缘探针。两个探针提供恒定电流,另外两个探针测量整个样品一部分的电压降。您可以使用所测电阻的几何尺寸来计算电阻率。尽管此度量看似简单,但仍有一些问题需要注意。正确屏蔽探头和测量导线非常重要,其原因有以下三个:
  1、一个电路具有高阻抗,因此容易受到静电干扰。
  2、半导体材料触点可对二极管效应吸收的信号进行整流,并将其显示为直流偏移。
  3、材料通常对光敏感。

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