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| 品牌 | ROOKO/瑞柯 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 自动化度 | 全自动 | 应用领域 | 能源,电子/电池,航空航天,汽车及零部件,电气 |
| 方块电阻 | 10^-5～2×10^5Ω/□ | 电阻率 | 10^-5～2×10^5Ω-cm |
| 单点重复性 | ≤0.5% | 电阻精度 | ≤0.3%（标准电阻） |
| 适用范围 | 晶圆、半导体衬底、选择性发射极扩散片、电镀铜电阻等 |
一、产品概述
ROOKO 瑞柯微 FT-3110 全自动四探针测试仪是一款专为材料电阻检测设计的精密仪器，融合的测量技术与智能操作功能，为科研实验与工业生产提供稳定可靠的检测解决方案。仪器采用钨钢材质探针，机械游移率≤0.3%，确保测试数据的准确性与重复性。
二、核心功能
测量参数：可同时检测电阻率、方块电阻、材料厚度等关键指标，满足多维度检测需求。
自动化操作：支持自动正 / 负电流输出与电压测量，兼容单点、五点、面扫描等多种测试模式，测试点数可自由设置。
数据处理：专业 V4.0 分析软件可实现数据采集、统计分析、单位换算，生成 2D/3D 扫描图谱与详细测试报表，支持数据导出与打印。
灵活适配：探针压力可调范围 100-500g，载台支持 2-12 寸圆形晶圆与 153mm×153mm 定制方片，适配不同规格样品。
安全防护：具备限位量程保护、压力保护、急停功能及异常警报，保障操作安全与设备稳定。
三、技术参数
| 规格项目 | 技术指标 |
|---|---|
| 方块电阻 | 10^-5～2×10^5Ω/□（FT-3110A）；10^-6～2×10^5Ω/□（FT-3110B） |
| 电阻率 | 10^-5～2×10^5Ω-cm（FT-3110A）；10^-6～2×10^5Ω-cm（FT-3110B） |
| 测试电流 | 0.1μA-100mA（FT-3110A）；0.1μA-1A（FT-3110B） |
| 电阻精度 | ≤0.3%（标准电阻） |
| 单点重复性 | ≤0.5% |
| 电源参数 | AC 220V±10%、50Hz，功耗＜600W |
四、适用领域
半导体材料：晶圆、半导体衬底、选择性发射极扩散片、电镀铜电阻等；
新型材料：铁电材料、纳米材料、非晶硅 / 微晶硅材料等；
电子器件：太阳能电池、LCD、OLED、触摸屏等；
科研与生产：高校实验室、科研院所材料分析、电子制造业质量检测。
五、配置清单
标准配置：主机 1 台、测试线 1 套、直线型四探针探头 1 个、镀金弹簧铜针与弹簧钨针各 1 组、分析软件 1 套、计量证书 1 份；
可选配件：2-12 寸晶圆样品台、定制规格探针、电脑 + 打印机、1-3 年延保服务。
六、产品优势
ROOKO 瑞柯微 FT-3110 全自动四探针测试仪 凭借宽量程测量、高精度数据、智能化操作与广泛适配性，成为材料电阻检测领域的优选设备。仪器通过严格质量检测，提供 13% 增值税专用发票，搭配专业的技术支持与售后服务，全程保障设备稳定运行。
