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四点探针测试仪

型号:

产品时间:2020-03-23

简要描述:

四点探针测试仪,适用于生产企业、高等院校、科研部门,是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具

详细介绍

FT-330系列普通四探针方阻电阻率测试仪
FT-330 Series common four probe resistance ratio test instrument


一.    描述Description:
采用范德堡测量原理能解决样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差,提供通讯接口,PC软件数据处理及数据分析.中文或英文语言版本.


二.四点探针测试仪参照标准standard:
硅片电阻率测量的标准(ASTM F84)及国家标准设计制造;GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.


三.适用范围Applicable scope:
适用于生产企业、高等院校、科研部门,是检验和分析半导体材料质量的工具;液晶显示,自动测量和系数补偿,并带有温度补偿功能,自动转换量程;采用AD芯片控制,恒流输出,选配:PC软件,保存和打印数据,生成报表
用于:覆盖膜;导电高分子膜,高、低温电热膜;隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层,电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料,其他半导体材料、薄膜材料方阻测试等相关产品


四.四点探针测试仪型号及参数Models and technical parameters
规格型model    FT-331    FT-332    FT-333    FT-334    FT-335    FT-336
1.方块电阻范围Sheet resistance     10-5~2×105Ω/□    10-4~2×105Ω/□    10-3~2×105Ω/□    10-3~2×104Ω/□    10-2~2×105Ω/□    10-2~2×104Ω/□
2.电阻率范围Resistivity     10-6~2×106Ω-cm    10-5~2×106Ω-cm    10-4~2×106Ω-cm    10-4~2×105Ω-cm    10-3~2×106Ω-cm    10-3~2×105Ω-cm
测试电流范围
Test current     0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA    10μA,100µA,1mA,10mA,100mA    0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA    10μA,100µA,1mA,10mA,
100mA    0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA    1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA
4.电流精度 Current accura    ±0.1%     ±0.2%     ±0.2%     ±0.3%     ±0.3%     ±0.3% 
5.电阻精度Resistance     ≤0.3%    ≤0.3%    ≤0.3%    ≤0.5%    ≤0.5%    ≤0.5%
6.显示读数display    液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率
7.测试方式test mode    普通单电测量
8.工作电源power    输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W 
9.误差errors    ≤4%(标准样片结果 Standard Sample results)
10.选购功能choose to buy    选购1.pc软件; 选购2.方形探头; 选购3.直线形探头; 选购4.测试平台;5.标准电阻

11.测试探头Test probe    探针间距选购:1mm;2mm;3mm三种规格; 探针材质选购:碳化钨针;白钢针;镀金磷铜半球

 

温馨提示:半导体材料测量,我们提供四探针法,低阻,高阻,双电组合法,普通单电法,以及高温电阻率测试仪系列,欢迎和我们保持联系---瑞柯仪器

 


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