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金属薄膜四探针电阻率测试仪

简要描述:金属薄膜四探针电阻率测试仪可以测量片状、块状半导体材料的电阻率,扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻)。也可测柔性导电薄膜和玻璃等硬基底上导电膜的方块电阻(简称方阻),换上四端子测试夹具,还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-09-05
  • 访  问  量:3881
详细介绍
品牌自营品牌价格区间面议
自动化度半自动产地类别国产
应用领域医疗卫生,环保,生物产业,农业,能源

金属薄膜四探针电阻率测试仪

一般目前的四探针电阻率(电导率)测试仪均已配置厚度的修正,通过厚度数值的设置,计算出不同的样品厚度对电阻率的影响。数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置,zui常用的是直线型四探针。四根探针的针尖在同一直线上,并且间距相等,都是S,一般采用0.5mm的间距,不同的探针间距需要对测量结果做相应的校正。可以测量片状、块状半导体材料的电阻率,扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻)。也可测柔性导电薄膜和玻璃等硬基底上导电膜的方块电阻(简称方阻),换上四端子测试夹具,还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。

 金属薄膜四探针电阻率测试仪

    仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入;具有零位、满度自校功能;自动转换量程;测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成,故定位准确、游移率小、寿命长;测试结果由数字表头直接显示。在计算机控制下进行两次电测量,能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。因而每次测量不必知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置。由于每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正,测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据,把采集到的数据在计算机中加以分析,然后把测试数据以表格,图形直观地记录、显示出来。  

恒流源:

输出电流:DC 0.1mA~10mA分两档

10mA量程:0.1~1mA 连续可调

10mA量程:1mA ~10mA连续可调

恒流精度:各档均优于±0.1%

适合测量各种厚度的硅片
 

基本技术参数 

1.测量范围、分辨率

电    阻:     1.0×10-3~ 200.0×103 Ω,    分辨率0.1×10-3~ 0.1×103 Ω

电 阻 率:     1.0×10-3~ 20.0×103Ω-cm  分辨率0.1×10-3~ 0.1×103 Ω-cm

方块电阻:     10.0×10-3~ 200.0×103Ω/□  分辨率1.0×10-3~ 0.1×103 Ω/□

  

测量范围:0~199.9mv,灵敏度:100μv,准确度:0.2%(±2个字),供电电源:AC:220V ±10% 50/60HZ 功率8W

 使用环境:

相对湿度≤80%

 

重量、体积

重量:2.2 公斤

体积:宽210×高100×深240(mm)

 产品特点:

■ 四探针:一次测量,显示完整电阻率值。

■ 采用了*的恒流源技术,能够满足宽范围的电阻率测试要求

■电阻率测量:大屏幕清晰显示硅料电阻率值,方便检料工快速分选

■ 电流测量:本仪器采用先进芯片技术,可通过调节硅材料厚度,仪器可直接锁定电流,使测量使用更加简便准确,本仪器可根据需要配备测试平台, 利用测试平台可以测试薄片电阻率

 注意事项:

 

1、仪器不使用时请切断电源,连接线无需经常拔下,避免灰尘进入航空插引起短接等现象,

2、探针笔测试结束,套好护套,避免人为断针

3、仪器操作前请您仔细阅读使用说明书,规范操作

4、轻拿轻放,避免仪器震动,水平放置,垂直测量

 

量程划分及误差等级

量程

200.0 

20.00 

2.000 

200.0 

20.00 

2.000 

200.0 

kΩ-cm/□ 

Ω-cm/□ 

mΩ-cm/□ 

误差

基本误差±0.5%FSB±5LSB(在各量程范围内),超量程或欠量程可测量,但误差将随超欠程度而变大

 

 


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