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四探针电阻率测试仪不同检定方法所需设备
时间:2016-01-23 点击次数:690
   之前我们介绍过《四探针电阻率测试仪的检定要求和环境》,本文再给大家介绍下四探针电阻率测试仪不同检定方法所需的设备。

  一、检定四探针电阻率测试仪,如果用整体法检定,应具备下列设备:

  1.一台放大倍数不低于400倍的工具显微镜,若干片抛光样片。

  2.一台测力仪,测力仪的技术指标为:

  (a)测力范围:0~9.8N

  (b)测力仪总不确定度≤5%

  3.三套共13个标称的标准样片,电阻率名义值为0.001,0.01,0.1,1,2.5,5,10,75,100,180,250,500,1000Ω·cm。

  注:整体方法检定电阻率测试仪的标准样片,表面应没有任何脏物,长期使用应注意定期清洗(按标准样片使用说明中规定的方法清洗),以保持样片表面的清洁。

  二、检定四探针电阻率测试仪,如果用分部件检定,还应具备下列设备:

  1.一套标准电阻,标准电阻的标称值为0.001,0.01,0.1,1,10,100,1000Ω共七个阻值。其电阻本身具有温度修正系数,以备作模拟电路的电阻r。

  2.若干只不同标称值的一般电阻,以备作模拟电路的电阻R。

  3.0.1℃分度值的温度计一只。

  另外再补充介绍下四探针电阻率测试仪的探头检定。

  1、测量探针压力:用测力仪测出每根针的力及四根针的合力。

  2、观察探针压痕形状。测量压痕直径和间距。

  用一个抛光面的硅片,在被检仪器四探针的力为合格值时,压10组压痕(注意10组压痕的排列顺序,不可弄乱)。然后用显微镜观察每个压痕的形状,读出Y轴YA和YB读数(即每组压痕中的zui大值与zui小值),并算出YA和YB的差值。然后测量压痕直径及相邻两个压痕之间的距离。合格的探针压痕是指触点均匀接触,而无滑动的痕迹。探针压痕的直径和间距按公式计算。

  以上是四探针电阻率测试仪不同检定方法所需设备的全部内容,更多信息咨询!

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