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四探针电阻率测试仪的配置特点和技术参数
时间:2014-11-27 点击次数:934
  

四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份测试架及四探针头组成。本仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关,在测量某些箔层材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,更好地保护箔膜。仪器配置了本公司的产品:“小游移四探针头”,探针游移率在0.10.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。

 

    四探针电阻率测试仪如加配HQ-710E数据处理器,测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正,并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的zui大百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均。给测量带来很大方便。

 

四探针电阻率测试仪技术参数:

(1)测量范围:  

可测电阻率:0.000119000Ω•cm  

可测方块电阻:0.0011900Ω•□  

(2)恒流源:  

输出电流:DC0.001100mA五档连续可调  

量程:0.0010.01mA  

0.010.10mA  

0.101.0mA  

1.010mA  

10100mA  

恒流精度:各档均低于±0.05%  

(3)直流数字电压表:  

测量范围:0199.99mV  

灵敏度:10μV  

基本误差:±(0.004%读数+0.01%满度)  

输出电源:≥1000ΩM

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