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导体电阻率测试仪的主要指标分享
时间:2018-10-27 点击次数:1314
   导体电阻率测试仪是根据四探针原理,适合半导体器材厂,材料厂用于测量半导体材料(片状、棒状)的体电阻率,方块电阻(簿层电阻),也可以用作测量金属薄层电阻,经过对用户、半导体厂测试的调查,根据美国ASTM标准的规定,在电路和探头方面作了重大的修改和技术上的许多突破,半导体电阻率测试仪更适合于半导体器材厂工艺检测方面对中值、高阻硅、锗材料方块电阻和体电阻率的测量需要,成为普及型的电阻率测试仪,具有测量精度高,稳定性好,输入阻抗高,使用方便、价格低廉等特点。

  导体电阻率测试仪的主要指标如下:

  1.测量范围:电阻率10-3—103Ω-cm,分辩率为 10-4Ω-cm ,可扩展到105Ω-cm

  方块电阻10-2—104Ω/□,分辩率为10-3Ω/□,可扩展到106Ω/□

  薄层金属电阻10-4—105Ω,分辩率为10-4Ω

  2.可测半导体材料尺寸:直径Φ15—Φ125mm; 长度:150mm(可扩展500mm)

  3.测量方式:轴向、断面均可

  4.数字电压表:(1)量程:20mV(分辩率:10μV)、200mV、2V

  (2)测量误差:±0.3%读数±1字

  (3)输入阻抗:大于108Ω

  (4)显示3 1/2 位红色发光二极管(LED)数字显示

  0---1999具有极性、过载、小数点、单位自动显示

  5. 恒流源:由交流供电,具有良好的防泄漏隔离功能

  (1)直流电流:0—100mA连续可调

  (2)量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

  (3)分辩率:10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA

  (4)电流误差:±0.3%读数±2字

  6.电性能模拟考核误差:<±0.3%符合ASTM指标

  7 .测试探头:(1)探针机械游移率:± 0.3% 符合ASTM 指标

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